氦質譜儀背壓檢漏方法：

1、試驗原理

將被檢件放入充氦箱，充入一定壓力的氦氣，在規定的加氦時間內，氦氣通過被檢件存在的漏孔進入內部，將被檢件從充氦箱中取出，用氮氣或干燥空氣吹除被檢件表面殘存氦氣，在規定的時間內，放入測試室，用氦質譜檢漏儀測定被檢件漏率，如圖 1 所示。

1——氦氣；2——充氦系統；3——充氦箱；4-被檢件；

5——測試室；6——氦質譜檢漏儀；7——標準漏孔。

圖 1 氦質譜背壓檢漏原理示意圖

2、試驗程序

2.1 充氦加壓背壓檢漏

充氦加壓背壓檢漏一般按如下步驟進行；

a）開啟氦質譜檢漏儀，使氦質譜檢漏儀處于正常檢漏狀態。

b）將被檢件放入測試室，打開氦質譜檢漏儀對測試室抽真空，測試檢漏的本底值。用接在測試室上的標準漏孔校驗檢漏有效最小可檢漏率，其值按公式（1）計算：

式中：

??_min——檢漏最小可檢漏率，單位為帕斯卡立方米每秒（Pa·m3/s）；

I_n——檢漏儀噪聲信號，單位為帕斯卡立方米每秒（Pa·m3/s）；

I——標準漏孔對應于檢漏儀的輸出信號，單位為帕斯卡立方米每秒（Pa·m3/s）；

k——氦質譜檢漏儀的本底值，單位為帕斯卡立方米每秒（Pa·m3/s）；

??₀——標準漏孔的標稱值，單位為帕斯卡立方米每秒（Pa·m3/s） 。

c）對被檢件進行附著物處理（油脂可用有機溶劑去除，指印可擦除），放入 100℃ 的烘箱烘烤 1h，取出后用氮氣或干燥空氣連續吹密封面 5min 以上。

d）將被檢件放入充氦箱中，對充氦箱抽真空，壓力低于 100Pa 后，用 GB 4844-1984 規定的純氦充入充氦箱，充氦時間大于 20s，當壓力達到要求充氦壓力后，保壓至要求的時間。

e）用大于 20s 的時間排放充氦箱中的氦氣至零表壓，取出被檢件，并用氮氣或干燥空氣將被檢件吹 5min 以上。

f）將有氮氣的被檢件放入與氦質譜室相連的測試室中，測試被檢件的測量漏率為 R。

根據被檢件內部可充氣體的體積V和允許最大等效標準漏率L，按公式（2）計算測量漏率的極限值及 R1；

式中：

R₁——示漏氣體（氦）的測量漏率極限值，單位為帕斯卡立方米每秒 （Pa·m3/s）；

L——允許最大等效標準漏率，單位為帕斯卡立方米每秒（Pa·m3/s）；

P_e——充氦壓力，單位為帕斯卡（Pa）;

P₀——大氣壓力，單位為帕斯卡（Pa）;

t₁——加壓時間，單位為秒（s）：

t₂——凈化時間，即加壓結束至檢漏的時間，單位為秒（s）：

V——被檢件內腔的體積，單位為立方米（m3）。

例如：某被檢件的等效漏率L和測量漏率R1極限值的計算曲線參見附錄A。

h）根據公式（3）計算,得出最大可測試的等校漏率 L_max。

i）當 P₀V/L≥60h（2*10⁵）時，公式（2）可簡化為公式（4）和公式（5）：

j）對于 L 小于 L_max 的被檢件，當被檢件的測量漏率 R 大于 R₁ 時，被檢件漏率超標，判定為不合格。

對于 R 小于 R₁ 的被檢件，選擇最小可檢漏率大于 L_max 的粗檢方法進行粗檢，確定被檢件無大漏后，判定被檢件為合格。

2.2 預埋氨封接背壓檢漏

2.2.1預埋氦封接背壓檢漏一般適用于預先充入氦氣的被檢件，按如下步驟進行：

a）當被檢件中預先充入分壓力為 P_s 的氦氣后封接，在候檢時間 t₃ 后放入測試室中，抽空檢漏。

b）按 2.1a）、b）的程序校驗檢漏最小可檢漏率。

c）根據被檢件內部可充氣體的體積V和允許最大等效標準漏率 L，按公式（6）計算測量漏率的極限值 R₁：

式中：

P_s——充氦分壓力，單位為帕斯卡（Pa）：

t₃——候檢時間，即加壓結束至檢漏的時間，單位為秒（s）。

d）按 2.1h）、i）、j）的程序判定被檢件漏率是否超標。

2.2.2 封接后放置時間過長（大于 30d），或要求復驗檢查的被檢件，應按照 2.1 進行。