電自動控制器 壓力傳感器(以下簡稱傳感器)的氣密性試驗方法有兩種:水檢漏試驗及氦檢漏試驗,分別對應不同的技術要求及試驗方法,具體內容如下:
1、傳感器氣密性試驗之水檢漏試驗:
1.1 技術要求
傳感器在表 1 規定的最大工作壓力(氣體)下,浸沒在常溫水中 1min,表面應無氣泡逸出。
表 1 最大工作壓力 (單位為兆帕)

1.2 試驗方法
a)將傳感器按圖 1 所示氣路要求連接;
b)調節壓力調節閥 1 至表 1 規定的壓力,關閉放氣閥 3,打開進氣閥 2,向傳感器內充入測試氣體;
c)將傳感器浸沒在水中,確認夾具應無泄漏,并用毛刷去除附著在傳感器表面的氣泡;
d)保壓不低于 1min 的時間并觀察傳感器各部位是否有氣泡逸出;
e)測試結束后,先將傳感器和夾具從水中取出,再關閉進氣閥 2,打開放氣閥 3,卸壓后取下傳感器。

說明:1——壓力調節閥;2——進氣閥;3——放氣閥:4——壓力表;5——傳感器。
圖 1 氣密性水檢漏試驗裝置
2、傳感器氣密性試驗之氦檢漏試驗:
2.1 技術要求:
采用氦檢時,傳感器泄漏率應不大于 2.83g/a。
2.2 試驗方法:
a)按圖 2 所示氣路要求連接,測試用氣體采用氦氣或氦氣與氮氣的混和氣體,氦氣比率與氣體的壓力的組合應滿足測試精度的要求。
b)調節壓力調節閥 1、3 至表 1 規定的壓力。
c)關閉進氣閥 2、4 和閥門 5、7、9、12、14,打開閥門 16,啟動真空泵 17,對真空箱 13 抽真空至 100Pa 以下。
d)關閉閥門 16 和真空泵 17,打開進氣閥 2 向傳感器內充入氮氣或空氣,保壓一定時間后打開閥門 14,啟動檢漏儀 15,確認泄漏情況。
e)關閉進氣閥 2、閥門 14 和檢漏儀 15,打開放氣閥 5 排空氮氣或空氣;然后關閉放氣閥 5,打開閥門 7,啟動真空泵 8,對測試管路及傳感器 11 內腔抽真空至 1000Pa 以下;同時打開閥門 16,啟動真空泵 17,對真空箱 13 抽真空至 50Pa 以下。
f)關閉閥門 7、16 和真空泵 8、17,打開進氣閥 4 向傳感器內充入氦氣,保壓一定時間后打開閥門 14,啟動檢漏儀 15 確認泄漏情況。
g)關閉閥門 14 和檢漏儀 15,然后打開閥門 9,啟動氦氣回收系統 10,對測試管路及傳感器 11 內腔的氦氣進行回收利用。
h)關閉閥門 9 和氦氣回收系統 10,打開放氣閥 12 卸壓,然后打開真空箱 13,取下傳感器 11。
試驗后應符合 2.1 的要求。

說明:1、3——壓力調節閥;2、4——進氣閥;5、12——放氣閥;6——壓力表;7、9、14、16——閥門;
8、17——真空泵;10——氮氣回收系統(含濃度計);11——傳感器;13——真空箱;15——檢漏儀。
圖 2 氣密性氦檢漏試驗裝置
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